产品名称：微波等离子系统数字量 I/O 模块产品简介：Gasonics AWO 系列专用数字量 I/O 扩展模块，提供多路数字量信号输入与输出，用于设备状态监测与执行机构控制。技术规格
- 数字量输入：12 路，24V DC，光电隔离
- 数字量输出：12 路，24V DC，继电器输出
- 响应时间：≤10ms
- 防护等级：IP20
- 工作电源：24V DC功能特点
- 扩展设备数字量控制节点，提升自动化程度
- 光电隔离，有效保护主控系统
- 支持状态反馈与故障诊断
- 模块化设计，便于系统扩展应用场景：Gasonics AWO 系列微波等离子设备的阀门、泵、门开关等数字量控制。
Gasonics A93-021-04/C 
Gasonics 27-169988-00 
Gasonics 001-6300-03 
Gasonics A93-021-05/D 