产品名称：微波等离子系统故障诊断模块产品简介：Gasonics AWO 系列专用故障诊断单元，负责设备运行状态监测、故障识别与诊断，提升设备维护效率。技术规格
- 监测节点：电源、微波源、气体、真空、温度、安全系统
- 诊断功能：故障代码生成、故障定位、历史记录
- 输出接口：RS-232、以太网
- 工作电源：24V DC
- 工作温度：0–45℃功能特点
- 实时监测全系统运行状态，异常即时预警
- 精准故障定位，缩短维护时间
- 故障历史记录，支持预防性维护
- 支持远程故障诊断与技术支持应用场景：Gasonics AWO 系列微波等离子设备的故障诊断与维护管理。
Gasonics A93-021-04/C 
Gasonics 27-169988-00 
Gasonics 001-6300-03 
Gasonics A93-021-05/D 