产品名称：等离子蚀刻设备射频电源单元产品简介：Gasonics AE 系列专用射频电源，为等离子蚀刻设备提供稳定、高效的射频功率输出，是蚀刻工艺的核心动力源。技术规格
- 输出频率：13.56MHz
- 输出功率：0–2000W，连续可调
- 输出阻抗：50Ω
- 冷却方式：水冷
- 控制方式：0–10V 模拟量 / RS-485 数字控制功能特点
- 高功率输出，满足深蚀刻工艺需求
- 功率输出稳定，纹波小
- 多重保护功能，保障设备安全
- 兼容 Gasonics 主流蚀刻设备应用场景：半导体晶圆等离子蚀刻、介质刻蚀、金属刻蚀等工艺设备。
Gasonics A93-021-04/C 
Gasonics 27-169988-00 
Gasonics 001-6300-03 
Gasonics A93-021-05/D 