产品名称：等离子腔体电极加热组件产品简介：Gasonics 等离子设备专用电极加热单元，为腔体电极提供均匀加热，保障工艺温度稳定性与均匀性。技术规格
- 加热功率：0–1000W
- 加热区域：电极表面均匀分布
- 控温范围：室温–300℃
- 控温精度：±0.5℃
- 安装方式：嵌入式安装于电极内部功能特点
- 电极表面温度均匀，温差≤±2℃
- 快速升温，热响应速度快
- 耐等离子体腐蚀，使用寿命长
- 与温度控制模块联动，实现精准控温应用场景：等离子去胶、清洗、表面改性等需要电极加热的工艺设备。
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Gasonics 93-00105A
2026-03-19 13:57 已有人浏览 小编
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产品Gasonics 93-00105A
品牌Gasonics
型号93-00105A
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Gasonics A93-021-04/C 
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