产品名称：等离子体射频电源模块产品简介：专为 Gasonics 等离子体处理设备设计的高频电源组件，用于激发并维持工艺腔体内等离子态，是半导体清洗、去胶等工艺的核心动力源。技术规格
- 输出功率：300–600W
- 工作频率：13.56MHz（工业标准等离子频率）
- 输出模式：连续波（CW），支持脉冲调制
- 冷却方式：强制风冷
- 控制接口：标准工业控制总线，兼容设备主控系统功能特点
- 功率输出稳定，纹波小，保障等离子体均匀性
- 具备过流、过压、过热多重保护，运行安全可靠
- 模块化设计，安装、维护、替换便捷
- 与 Gasonics 主流等离子设备高度兼容应用场景
- 半导体晶圆光刻后光刻胶灰化（去胶）
- 氧等离子清洗、表面活化与预处理
- 微机电系统（MEMS）、化合物半导体工艺
- 科研实验室等离子体表面改性
Gasonics A93-021-04/C 
Gasonics 27-169988-00 
Gasonics 001-6300-03 
Gasonics A93-021-05/D 