产品名称：等离子体射频电源模块（高功率型）产品简介：AWD-D 系列高功率版本射频电源，适配大腔体或高产能等离子处理设备，提供更强的等离子激发能力。技术规格
- 输出功率：600–1200W
- 工作频率：13.56MHz
- 输出模式：连续波 + 脉冲双模式
- 冷却方式：强制风冷 + 辅助散热风道
- 控制接口：支持远程监控与参数闭环调节功能特点
- 高功率密度，满足大尺寸晶圆或高产能产线需求
- 脉冲模式可优化工艺均匀性，降低热损伤
- 具备功率实时反馈与自动匹配功能
- 工业级设计，适应 24 小时连续生产环境应用场景
- 8–12 英寸半导体晶圆等离子去胶与清洗
- 先进封装、3D IC 等离子表面处理
- 太阳能电池片、LED 芯片等离子活化
- 平板显示（FPD）制程等离子清洗
Gasonics A93-021-04/C 
Gasonics 27-169988-00 
Gasonics 001-6300-03 
Gasonics A93-021-05/D 