产品名称：等离子体射频电源模块（高功率增强型）产品简介：在 AWD-D-1-3-3-001 基础上优化的高功率电源，提升了稳定性与抗干扰能力，适配严苛工艺环境。技术规格
- 输出功率：600–1200W（精度 ±1%）
- 工作频率：13.56MHz
- 输出模式：连续波、脉冲、突发模式
- 冷却方式：智能温控风冷
- 保护机制：过流、过压、过热、驻波比（VSWR）超限保护功能特点
- 功率控制精度更高，工艺重复性好
- 多重保护机制，有效保护腔体与匹配网络
- 支持与上位机通信，实现工艺参数追溯
- 兼容 Gasonics A 系列、L 系列等离子设备应用场景
- 先进半导体制造中高深宽比结构等离子处理
- 化合物半导体（GaN、SiC）表面清洗与活化
- 光学元件、精密机械零件等离子清洁
- 科研机构高端等离子体工艺研发
Gasonics A93-021-04/C 
Gasonics 27-169988-00 
Gasonics 001-6300-03 
Gasonics A93-021-05/D 