产品名称：等离子体射频电源模块（标准型升级版）产品简介：AWD-D-1-3-2-001 的升级款，优化了控制算法与散热设计，提升了长期运行可靠性。技术规格
- 输出功率：300–600W
- 工作频率：13.56MHz
- 输出模式：连续波 + 低占空比脉冲
- 冷却方式：高效静音风冷
- 接口：标准 DB9 控制接口 + 模拟量监控端口功能特点
- 低噪声设计，减少对周边设备电磁干扰
- 启动平滑，无冲击电流，延长设备寿命
- 体积紧凑，适配空间有限的设备集成
- 维护周期长，降低产线停机时间应用场景
- 4–6 英寸半导体晶圆传统制程
- 分立器件、传感器等离子去胶与清洗
- 医疗器械表面亲水性改性
- 高校、研究所基础等离子工艺实验
Gasonics A93-021-04/C 
Gasonics 27-169988-00 
Gasonics 001-6300-03 
Gasonics A93-021-05/D 