产品名称：等离子腔体照明控制模块产品简介：Gasonics 等离子设备专用照明控制组件，用于精确控制腔体内部照明系统，保障工艺观察与操作安全。技术规格
- 输入电压：24V DC
- 输出负载：适配 100–1000W 工业照明灯具
- 控制方式：数字信号控制、继电器输出
- 工作温度：0–50℃
- 防护等级：IP20（设备内部安装）功能特点
- 支持灯光常亮、闪烁、调光多种模式
- 可接收 PLC 或设备主控信号，实现自动化控制
- 具备短路、过载保护，保障照明系统安全
- 与 Gasonics A3000 等系列设备完美匹配应用场景
- 等离子腔体内部工艺过程实时观察
- 设备维护、腔体清洁时的照明控制
- 工艺状态指示（如运行、报警、待机）
- 手动样品装载与对位辅助照明
Gasonics A93-021-04/C 
Gasonics 27-169988-00 
Gasonics 001-6300-03 
Gasonics A93-021-05/D 