产品名称：等离子体射频电源模块（特殊工艺定制型）产品简介：针对特殊等离子工艺（如高真空、高反应性气体）定制的射频电源，优化了输出特性与抗腐蚀能力。技术规格
- 输出功率：400–800W
- 工作频率：13.56MHz
- 输出模式：连续波、脉冲、双频调制
- 冷却方式：密封式强制风冷
- 防护：关键部件防腐蚀涂层功能特点
- 适应高腐蚀性工艺气体环境
- 双频调制功能，优化特殊材料处理效果
- 高稳定性，适合长时间连续工艺
- 定制化接口，适配特殊设备架构应用场景
- 高深宽比微结构等离子清洗与刻蚀
- 高腐蚀气体（如 F 基、Cl 基）等离子工艺
- 特种材料（如陶瓷、聚合物）等离子表面处理
- 航空航天、精密光学元件等离子清洁
Gasonics 27-169988-00 
Gasonics 001-6300-03 
Gasonics A93-021-05/D 