产品名称：等离子设备主控逻辑控制板产品简介：Gasonics 等离子设备的核心控制单元，负责协调电源、气体、温度、运动等所有子系统，实现工艺自动化与安全联锁。技术规格
- 处理器：工业级 32 位微控制器
- 存储：内置 Flash，支持工艺配方存储
- 接口：多路模拟量输入输出、数字 I/O、RS232/485
- 工作电压：24V DC
- 工作温度：-10–60℃功能特点
- 支持多组工艺配方存储与调用
- 实时监控所有子系统状态，异常立即报警
- 具备完善的安全联锁逻辑，保障设备与人员安全
- 支持远程诊断与软件升级应用场景
- Gasonics 全系列等离子设备的系统控制
- 半导体、先进封装、MEMS 产线自动化控制
- 科研等离子设备的定制化工艺控制
- 等离子处理设备的系统集成与升级
Gasonics A93-021-04/C 
Gasonics 001-6300-03 
Gasonics A93-021-05/D 