产品名称：等离子体射频匹配网络模块产品简介：与 AWD-D 系列射频电源配套使用的阻抗匹配组件，实现电源与等离子腔体负载的高效阻抗匹配，最大化功率传输效率。技术规格
- 匹配频率：13.56MHz
- 功率容量：0–1200W
- 匹配方式：自动调谐（电容 / 电感组合）
- 调谐时间：<500ms
- 驻波比（VSWR）：<1.1:1（匹配状态）功能特点
- 快速自动匹配，适应等离子负载动态变化
- 低损耗设计，能量传输效率高
- 具备 VSWR 超限保护，保护电源与腔体
- 结构紧凑，便于设备内部集成应用场景
- 所有 Gasonics 射频等离子设备的功率匹配
- 半导体、MEMS、化合物半导体等离子工艺
- 科研等离子体系统的阻抗匹配优化
- 平板显示、光伏等领域等离子处理设备
Gasonics A93-021-04/C 
Gasonics 27-169988-00 
Gasonics A93-021-05/D 