产品名称：高压等离子体驱动与激励模块产品简介：该产品是用于产生并驱动高强度等离子体的专用电源模块，能够输出稳定高压激励信号，使工艺气体在真空腔体内快速击穿形成均匀等离子体。适用于大功率、大面积等离子处理设备。技术规格
- 输出电压：高压可调范围
- 输出电流：宽范围自适应调节
- 工作频率：高频工作区间
- 转换效率：高效率设计，降低能耗与发热
- 冷却方式：强制风冷功能特点
- 等离子起弧快速、稳定，不易熄灭
- 具备弧光检测、快速灭弧保护，避免损伤晶圆
- 输出特性平稳，适应不同气体与压力条件
- 内置多重保护，防止短路、过流、过热损坏
- 结构紧凑，适合集成在设备内部高压区域应用场景
- 大功率等离子清洗、刻蚀、去胶设备
- 大面积平板显示、玻璃、材料表面处理
- 半导体先进制程等离子源驱动系统
- 科研用高密度等离子体发生装置
Gasonics A93-021-04/C 
Gasonics 27-169988-00 
Gasonics 001-6300-03 
Gasonics A93-021-05/D 