产品名称：3 轴运动控制模块产品简介：Gasonics 自动化传输系统专用运动控制单元，支持 3 轴伺服 / 步进电机控制，实现晶圆传输、升降、旋转的高精度协同运动，保障晶圆在真空环境下安全、精准传输。技术规格
- 控制轴数：3 轴独立控制
- 接口：脉冲 / 方向 + 编码器反馈
- 供电：24V DC
- 通信：RS-232、现场总线
- 定位精度：±0.01mm
- 运动模式：点位、连续、回零功能特点
- 多轴同步运动，轨迹平滑无冲击
- 支持限位、急停、碰撞保护
- 运动参数可编程存储，一键调用
- 本地手动与远程自动双模式控制
- 适配 Gasonics 晶圆传输系统应用场景
- 半导体晶圆自动上 / 下料
- 等离子设备内部精密传输
- 真空环境下机械臂控制
- 自动化生产线精密定位
Gasonics A93-021-04/C 
Gasonics 001-6300-03 
Gasonics A93-021-05/D 