产品名称：系统电源管理与保护模块产品简介：Gasonics 等离子设备核心电源管理单元，负责对整机各路电源进行分配、监控、稳压与保护，包括射频电源、真空泵电源、气体阀电源、控制电路电源等，保障设备供电安全稳定。技术规格
- 输入电压：220V/380V AC，50/60Hz
- 输出通道：多路独立电源输出
- 保护功能：过压、过流、欠压、短路、过热
- 监控参数：电压、电流、功率、频率
- 通信：RS-485、以太网功能特点
- 多路电源集中管理，统一监控
- 实时监测各路电源状态，异常快速响应
- 分级保护机制，故障时优先保护核心部件
- 支持电源参数远程设定与调整
- 具备电源故障记录与诊断功能应用场景
- 等离子设备整机电源系统
- 半导体设备电源管理与保护
- 真空设备、射频设备供电控制
- 工业自动化设备电源监控
Gasonics A93-021-04/C 
Gasonics 27-169988-00 
Gasonics A93-021-05/D 