产品名称：真空腔体温度采集与控制模块产品简介：Gasonics 等离子腔体专用温度控制单元，负责对腔体、电极、气体管路等多点温度进行实时采集与 PID 闭环控制，确保工艺温度均匀稳定，避免温度漂移影响工艺结果。技术规格
- 测温通道：6 路独立通道
- 传感器类型：PT100、K 型热电偶
- 温度范围：-20–350℃
- 控制精度：±0.5℃
- 输出：模拟量、固态继电器
- 通信：RS-485功能特点
- 多点温度同步采集，数据实时显示
- 独立 PID 控制，升温 / 恒温过程平稳
- 超温、传感器断线、加热故障报警
- 支持远程温度设定与数据上传
- 适应真空与高温环境，长期稳定可靠应用场景
- 等离子腔体温度精确控制
- 晶圆加热台、电极温控
- 气体管路、泵体温度监测
- 半导体工艺温度闭环控制
CONTROL TECHNIQUES 089EDC300BACAA 
CONTROL TECHNIQUES 095U3C300CFECA 
CONTROL TECHNIQUES 095E3E200BACAA 
CONTROL TECHNIQUES 089UDC300BACAA 