产品名称：射频匹配网络控制模块产品简介：Gasonics 射频等离子系统专用匹配网络控制单元，负责驱动匹配网络中的电机与电容，实时调节负载阻抗，使射频电源输出阻抗与等离子体负载阻抗匹配，最大化能量传输效率，保护射频电源。技术规格
- 适用频段：13.56MHz
- 匹配范围：宽范围负载阻抗适配
- 调节速度：高速自动调节
- 控制模式：自动匹配、手动微调
- 通信：模拟量、数字总线功能特点
- 等离子状态变化时快速追踪并重新匹配
- 反射功率极低，能量利用率高
- 具备匹配异常、过驻波比保护
- 运行稳定，适合长时间连续工艺
- 通用性强，兼容多款射频电源与腔体应用场景
- 射频等离子刻蚀、去胶、清洗设备
- 半导体晶圆射频工艺系统
- 等离子体源阻抗匹配控制
- 射频能量传输优化系统
Gasonics A93-021-04/C 
Gasonics 27-169988-00 
Gasonics 001-6300-03 
Gasonics A93-021-05/D 