产品名称：等离子设备主控逻辑控制板产品简介：Gasonics 等离子处理系统的核心控制主板，负责整机逻辑运算、信号调度、子系统协调与安全联锁，是设备自动化运行的核心控制单元。技术规格
- 处理器：工业级 32 位微处理器
- 输入：多路数字 / 模拟信号（真空、压力、温度、位置）
- 输出：继电器、模拟量、总线控制信号
- 通信：RS-485、以太网、设备内部总线
- 供电：24V DC
- 工作温度：0–50℃
- 防护等级：IP20功能特点
- 多任务并行处理，响应速度快
- 内置多级安全联锁，保障设备运行安全
- 支持工艺配方存储与一键调用
- 故障自诊断与代码显示，便于维护
- 兼容 Gasonics PEP、Aura 等系列设备应用场景
- 半导体等离子去胶、刻蚀、清洗设备
- 真空工艺设备自动化控制
- 晶圆处理系统主控单元
- 工业等离子设备核心控制
Gasonics A93-021-04/C 
Gasonics 27-169988-00 
Gasonics 001-6300-03 
Gasonics A93-021-05/D 