产品名称：射频功率放大与驱动模块产品简介：专为 Gasonics 射频等离子系统设计的功率放大模块，将控制信号放大后驱动射频电源与匹配网络，保障等离子体稳定激发与能量高效传输。技术规格
- 适用频段：13.56MHz
- 输出功率：0–3000W
- 增益：40dB
- 输入信号：0–10V 模拟量
- 供电：220V AC
- 保护：过流、过压、过热、驻波比保护功能特点
- 功率输出稳定，线性度高
- 快速响应负载变化，自动调节输出
- 多重保护机制，防止设备损坏
- 低噪声设计，抗电磁干扰能力强
- 适配多款 Gasonics 射频电源应用场景
- 射频等离子刻蚀、去胶、清洗设备
- 半导体晶圆射频工艺系统
- 等离子体源功率驱动
- 射频能量传输系统
Gasonics A93-021-04/C 
Gasonics 27-169988-00 
Gasonics 001-6300-03 
Gasonics A93-021-05/D 