产品名称：真空系统状态监测与控制模块产品简介：Gasonics 真空子系统专用监测控制单元，实时采集真空度、泵状态、阀门位置等信号，实现真空系统自动控制、联锁保护与故障诊断。技术规格
- 真空监测：兼容皮拉尼、冷阴极、热阴极真空计
- 测量范围：大气压–10⁻⁷ Torr
- 控制输出：真空泵启停、阀门驱动、报警信号
- 通信：RS-485、模拟量输出
- 供电：24V DC
- 工作温度：-10–60℃功能特点
- 真空度实时显示与曲线记录
- 多级真空阈值报警与联锁保护
- 真空泵自动启停与节能控制
- 真空泄漏检测与定位
- 模块化设计，安装便捷应用场景
- 半导体等离子设备真空系统
- 高真空镀膜、键合、退火设备
- 科研实验室真空监测与控制
- 真空设备自动化配套
Gasonics A93-021-04/C 
Gasonics 27-169988-00 
Gasonics 001-6300-03 
Gasonics A93-021-05/D 