产品名称：多通道气体流量控制模块产品简介：集成多路质量流量控制器（MFC），实现多种工艺气体的精确流量控制、配比与混合，适用于等离子工艺气体供给系统。技术规格
- 通道数：4 路独立控制
- 流量范围：0–500 sccm / 路
- 控制精度：±1% F.S.
- 阀体材质：316L 不锈钢
- 接口：VCR 1/4"
- 通信：RS-485、模拟量功能特点
- 多路气体独立控制，配比精度高
- 响应速度快，流量稳定
- 内置泄漏检测与超流量保护
- 抗腐蚀设计，适配腐蚀性气体
- 支持远程设定与实时反馈应用场景
- 等离子刻蚀、沉积、清洗工艺
- 半导体晶圆表面处理
- 真空系统气体配比控制
- 实验室特种气体流量控制
Gasonics A93-021-04/C 
Gasonics 27-169988-00 
Gasonics 001-6300-03 
Gasonics A93-021-05/D 