产品名称：射频匹配网络驱动模块产品简介：Gasonics 射频等离子系统匹配网络专用驱动单元，控制匹配网络中的电机与电容，实现负载阻抗快速匹配，最大化射频能量传输效率。技术规格
- 适用频段：13.56MHz
- 驱动方式：步进电机驱动
- 调节范围：宽范围负载阻抗适配
- 控制模式：自动 / 手动
- 通信：模拟量、数字总线
- 供电：24V DC功能特点
- 等离子状态变化时快速追踪匹配
- 反射功率极低，能量利用率高
- 具备过驻波比、过流保护
- 运行稳定，适合长时间连续工艺
- 兼容多款 Gasonics 射频电源应用场景
- 射频等离子刻蚀、去胶、清洗设备
- 半导体晶圆射频工艺系统
- 等离子体源阻抗匹配控制
- 射频能量传输优化
Gasonics A93-021-04/C 
Gasonics 27-169988-00 
Gasonics 001-6300-03 
Gasonics A93-021-05/D 