产品名称：工艺腔体温度控制模块产品简介：Gasonics 等离子腔体专用温度控制单元，负责腔体、电极、加热台的多点温度采集与 PID 闭环控制，保障工艺温度均匀稳定。技术规格
- 测温通道：4 路独立通道
- 传感器：PT100、K 型热电偶
- 温度范围：-20–350℃
- 控制精度：±0.5℃
- 输出：固态继电器、模拟量
- 通信：RS-485功能特点
- 多点温度同步采集与显示
- 独立 PID 控制，升温 / 恒温平稳
- 超温、断线、加热故障报警
- 支持远程温度设定与数据上传
- 适应真空与高温环境应用场景
- 等离子腔体温度精确控制
- 晶圆加热台、电极温控
- 气体管路、泵体温度监测
- 半导体工艺温度闭环控制
Gasonics A93-021-04/C 
Gasonics 27-169988-00 
Gasonics A93-021-05/D 