产品名称：真空系统联锁安全控制模块产品简介：Gasonics 真空设备专用安全联锁模块，负责真空腔体、工艺门、传动机构、真空泵的安全监控与联锁保护，防止人员误操作与设备损坏。技术规格
- 输入信号：门位、真空压力、急停、安全光栅
- 输出控制：腔体锁闭、真空阀互锁、泵停机、报警
- 供电：24V DC
- 防护等级：IP20
- 工作温度：0–50℃
- 通信：RS-485功能特点
- 多重安全逻辑互锁，满足半导体设备安全标准
- 实时监测状态，异常立即切断工艺
- 支持本地报警与远程状态反馈
- 故障代码显示，便于快速排查
- 模块化设计，安装更换便捷应用场景
- 半导体等离子设备真空安全控制
- 真空镀膜、表面处理设备安全联锁
- 实验室高真空系统安全监控
- 晶圆传输与工艺腔体安全保护
Gasonics A93-021-04/C 
Gasonics 001-6300-03 
Gasonics A93-021-05/D 