产品名称：CDN491R 模拟 I/O 控制板（MKS AS01491-AB）
产品简介：由 Applied Materials 与 MKS Instruments 联合开发的模拟信号采集与控制板，对应 MKS 型号 CDN491R / AS01491-AB，用于 AMAT Centura、Endura 等半导体制程设备的模拟过程信号（压力、流量、温度）采集与闭环控制。该产品已停产，目前市场以二手/翻新备件流通。
技术规格：
- 产品类型：模拟 I/O 控制板（Analog I/O PCB）
- 适配系统：AMAT Centura、Endura 等半导体制程设备
- 供电：24V DC（±10%），功耗 ≤ 10W
- 信号精度：±0.1% FS
- 隔离电压：通道间 1500 V AC / 1 min
- 模拟输入：多路 ±10 V DC / 4-20 mA
- 模拟输出：多路 ±10 V DC / 4-20 mA
- 数字 I/O：离散量输入/输出
- 通信：专用设备总线接口
- 工作温度：0°C ~ 50°C
- 存储温度：-20°C ~ 70°C
- 湿度：5% ~ 95% RH（非冷凝）
- 重量：约 0.2 kg
- 防护等级：IP20（机柜内安装）
核心功能：
- 高精度模拟量输入/输出，通道间电气隔离，抗工业电磁干扰
- 与 MKS 流量计、压力控制器等仪表协同，实现闭环控制
- 内置状态监测，支持报警输出与远程诊断
应用场景：CVD、PVD、Etch 等制程设备的过程参数监测与控制
安装要求：标准机柜插槽安装
GEA 0005-4050-430 
Applied Materials 0190-37684 
Applied Materials 0190-30354 