产品名称：高性能工业温度控制模块
产品简介：专为 AMAT 半导体制造系统设计（含 Producer GT UV Chamber 平台）的温度控制模块，提供精确的热调节、实时过程监控和多协议通讯能力，确保晶圆制程在恶劣工业环境中稳定可靠运行。
技术规格：
- 兼容设备：AMAT Producer GT UV Chamber、Centura/Endura 系列半导体制造系统
- 供电电压：24V DC ~ 240V AC
- 温度控制精度：±0.5°C（典型）
- 通讯协议：Modbus RTU/TCP、Profibus DP
- 工作温度：-20°C ~ +60°C
- 存储温度：-40°C ~ +85°C
- 尺寸：150 × 100 × 50 mm
- 净重：1.5 kg
- 防护等级：IP20
安装方式：标准 35mm DIN 导轨安装
应用场景：半导体设备（Producer GT UV Chamber、Centura/Endura 系列）制程温度闭环控制
GEA 0005-4050-430 
Applied Materials 0190-37684 
Applied Materials 0190-37519 