产品名称:稳频双频氦氖激光干涉仪激光头。
产品简介:HP 5517B 最初由 Hewlett-Packard 推出,后续归入 Agilent、Keysight 激光干涉产品体系,用于坐标测量机、机床校准、半导体运动台和计量平台的位移、速度与误差补偿。HP-5517B 与 HP 5517B 视为同一硬件书写变体。
技术规格:双频线性偏振氦氖激光;波长约 632.991 nm;参考分裂频率 5517B 约 1.9 至 2.4 MHz;典型输出大于 0.5 mW;光束直径约 0.63 mm;发散小于 1.0 mrad;供电与电子接口按配套 5501B/10706 等系统配置。
性能参数:平面镜光学最高线性分辨率 5 nm,高分辨光学 2.5 nm,单光束/线性光学可到 10 nm 级;5517B 配线性光学最大轴速约 508 mm/s,平面镜约 254 mm/s,高分辨约 127 mm/s;稳频指标按原厂证书,预热后达 ppm 级稳定度;工作环境通常 0 至 50 摄氏度,具体按系统手册。
功能特点:双频外差抗环境噪声优于单频;正交模拟与数字位置输出可供伺服;多轴系统通过接收器、光学镜组扩展;配合补偿板做空气折射率、温度、压力、湿度修正。
材质构成:氦氖激光管;偏振分光与声光频移光学件;铝合金激光头壳体;隔热/减振安装座;电缆按 Keysight 10790/10791 等系列选配。
结构特征:激光头、电源/电子处理单元、干涉镜组、环境传感器分离布置;激光头输出参考光与测量光,接收器返回多普勒频差信号。
工作原理:激光头输出两路微小频差的正交偏振光,一束作参考、一束经测量镜反射;目标移动使测量光产生多普勒频移,混频后得到与位移成正比的脉冲,按波长分数计数并做环境补偿。
安装要求:激光头固定于隔振基座,远离机床热源与直吹气流;光轴与运动轴对准,反射镜垂直度按靶标调整;接收电缆、环境传感器布设在测量体积内;首次投用按原厂要求预热,常见完整指标预热数小时。
使用注意:定期做波长与环境参数补偿,温度、气压、湿度传感器按期校准;避免振动、强气流、直射阳光影响光路;清洁光学件用专用镜头纸;多轴系统各轴参考频率、电缆长度按 Keysight 配置单核对。




Hollysys FM146B
SCHENCK FLB 0400
ATBLaurenceScott FLA6041 ND080F0110
HarmonicDrive FHA-32C-50-H-C1024-SP