产品名称：半导体设备真空腔体门阀驱动轴套产品简介：这是应用材料公司（AMAT）推出的原厂标准真空门阀配件，属于半导体真空设备门阀系统的核心传动结构件，专为真空门阀的驱动轴与腔体之间的密封和传动设计，实现驱动轴的旋转传动与腔体的真空密封双重功能，保障真空门阀的灵活启闭和腔体的真空密封性，适配 AMAT 多款真空设备的真空门阀系统，是半导体真空设备门阀维护的常用标准备件。技术规格：
- 主体材质：高强度聚酰亚胺（PI）+ 316L 不锈钢传动芯
- 密封结构：多层唇形氟橡胶密封
- 外径尺寸：50mm
- 内径尺寸：12mm
- 长度尺寸：80mm
- 尺寸公差：±0.01mm
- 工作温度：-30℃至 250℃
- 适配真空度：≤1×10⁻⁹ mbar
- 旋转扭矩：≤5N・m（灵活旋转）
- 密封漏率：＜1×10⁻¹⁰ mbar・L/s
- 适配门阀：AMAT KF40/KF50 系列真空门阀功能特点：
- 采用聚酰亚胺主体材质，兼具高强度、高耐磨性和优异的电气绝缘性能，可承受驱动轴的旋转摩擦，长期使用无磨损
- 316L 不锈钢传动芯强度高、抗腐蚀，保障驱动扭矩的高效传递，实现门阀的灵活启闭
- 多层唇形氟橡胶密封结构，与驱动轴和腔体接口紧密贴合，实现超高真空密封，无泄漏风险
- 精密加工的尺寸，与门阀驱动轴和腔体接口精准匹配，安装后无间隙，保障门阀的启闭精度
- 整体结构耐温、抗腐蚀，在真空和大气交变环境下使用，密封性能和传动性能不衰减
- 低放气率，符合半导体超高真空工艺要求，不影响腔体内部真空环境应用场景：
- 适配应用材料各类真空工艺腔体的 KF40/KF50 系列真空门阀系统
- 应用于半导体 8 英寸、12 英寸晶圆制造的真空工艺腔体进样口、出气口、工艺气路等部位的门阀控制
- 可作为半导体真空设备门阀系统的原厂传动密封备件，用于设备门阀的日常维护、驱动轴更换与门阀修复
- 适用于等离子体刻蚀机、PVD、CVD、离子注入机等各类半导体真空设备的门阀系统
AMAT 0050-33303 
AMAT 0020-43681 
AMAT 0020-40222 
AMAT 0020-34112 