产品名称：半导体设备真空工艺腔体冷却水管接头产品简介：这是应用材料公司（AMAT）推出的原厂标准冷却系统配件，属于半导体真空工艺腔体冷却系统的核心连接部件，专为腔体冷却水路的真空密封连接设计，实现冷却介质的高效传输与腔体的真空密封双重作用，保障工艺腔体在高温工作状态下的温度控制，同时防止冷却水路泄漏影响腔体真空环境，适配 AMAT 多款真空工艺腔体的冷却系统。技术规格：
- 主体材质：316L 不锈钢（真空级）+ 氟塑料密封阀芯
- 连接类型：双卡套式水路接头 + 真空密封法兰
- 水路通径：6mm
- 法兰规格：KF16 真空法兰
- 尺寸公差：±0.02mm
- 工作温度：-20℃至 200℃
- 工作水压：0.3MPa 至 1.0MPa
- 适配真空度：≤1×10⁻⁹ mbar
- 密封性能：水路无泄漏（1.0MPa 水压下），真空侧漏率＜1×10⁻¹⁰ mbar・L/s
- 适配冷却介质：去离子水、乙二醇水溶液
- 安装适配：AMAT 真空工艺腔体侧壁冷却水路接口功能特点：
- 采用真空级 316L 不锈钢主体与氟塑料密封阀芯复合结构，既满足水路的耐压抗腐蚀要求，又实现真空侧的超高真空密封
- 双卡套式水路连接结构，安装便捷，连接牢固，可耐受高压冷却介质冲击，无水路泄漏风险
- KF16 真空法兰与腔体接口精准匹配，法兰密封面经精密抛光，配合真空密封圈实现超高真空密封，隔绝水路与腔体真空环境
- 整体结构紧凑，占用腔体外部空间小，便于设备冷却系统的布局与维护
- 密封阀芯耐温、抗腐蚀，与冷却介质无反应，不会产生杂质污染冷却水路，保障腔体冷却效率
- 可反复拆卸与装配，密封性能不衰减，满足设备日常维护的拆装需求应用场景：
- 适配应用材料 Centura、Endura 系列刻蚀、沉积设备的真空工艺腔体冷却系统
- 应用于半导体 8 英寸、12 英寸晶圆制造的等离子体刻蚀、PVD、CVD 等高温真空工艺环节
- 可作为半导体真空工艺腔体冷却系统的标准连接备件，用于设备冷却水路安装、改造与日常维护更换
- 适用于半导体晶圆制造生产线中各类需要真空密封冷却的真空设备腔体
AMAT 0050-33303 
AMAT 0020-43681 
AMAT 0020-40222 
AMAT 0020-34112 