• 产品名称：晶圆传送机械臂末端执行器（End Effector）
• 产品简介：AMAT 晶圆传送系统的核心部件，用于半导体晶圆的精准抓取与传送，适配 200mm/300mm 晶圆，兼容真空吸附与机械夹持两种模式，保障晶圆在传送过程中的稳定性与洁净度。
• 技术规格
  • 适配晶圆尺寸：200mm/300mm
  • 材质：碳纤维复合材料 + 铝合金
  • 传送精度：±0.02mm
  • 真空吸附压力：-0.06MPa~-0.08MPa
  • 负载能力：≤2kg
  • 工作环境：Class 1 洁净室
• 功能特点
  • 轻量化设计，机械臂运动速度提升 30%，缩短晶圆传送周期
  • 配备晶圆存在传感器与防掉落检测装置，实时反馈晶圆状态
  • 表面采用防静电涂层，防止静电损伤晶圆表面电路
• 应用场景：半导体晶圆厂的 EFEM（设备前端模块）、晶圆存储系统、光刻机与刻蚀机之间的晶圆传送，以及自动化晶圆检测设备的上料与下料环节。