• 产品名称：高频射频电源匹配器
• 产品简介：用于半导体等离子体工艺的射频功率匹配设备，连接射频电源与工艺腔室，自动调节阻抗匹配，确保射频功率高效传输至等离子体，适配 13.56MHz/2MHz 等常用工艺频率。
• 技术规格
  • 输入功率：0~3000W
  • 工作频率：13.56MHz（主频率），兼容 2MHz/27MHz
  • 阻抗匹配范围：10Ω~1000Ω
  • 匹配速度：≤10ms
  • 控制接口：RS485 与 EtherCAT 通信
• 功能特点
  • 采用自动匹配算法，实时响应工艺腔室等离子体阻抗变化，功率传输效率≥95%
  • 具备过功率、过温、电弧保护功能，保护射频电源与腔室部件
  • 支持远程监控与参数调整，适配半导体智能制造的工业 4.0 需求
• 应用场景：等离子体刻蚀、溅射沉积、PECVD 等半导体工艺设备，尤其适用于对等离子体稳定性要求高的先进制程（如 7nm 及以下节点）。