• 产品名称：腔室内衬保护板
• 产品简介：安装在半导体工艺腔室内壁的防护部件，防止等离子体与工艺气体腐蚀腔室本体，延长腔室使用寿命，适配 AMAT Endura 系列沉积设备的工艺腔室。
• 技术规格
  • 材质：高纯氧化铝陶瓷（99.99% Al₂O₃）
  • 尺寸：400mm×300mm×10mm
  • 耐温性能：≤1000℃
  • 耐腐蚀性能：耐受氟基、氯基等离子体
  • 安装方式：卡扣式，无需工具即可更换
• 功能特点
  • 陶瓷表面致密，减少工艺颗粒产生，颗粒污染率降低 60%
  • 热导率低，减少腔室壁面热量传导，维持工艺温度稳定
  • 模块化设计，单块损坏可单独更换，降低维护成本
• 应用场景：半导体铝铜互连沉积、金属氧化物沉积等工艺腔室，以及高腐蚀性等离子体工艺环境。