• 产品名称：工业机器人伺服驱动器
• 产品简介：为半导体自动化设备中的工业机器人设计的伺服驱动装置，控制机器人关节电机的运行，适配 AMAT 晶圆传送机器人、腔室维护机器人等自动化设备。
• 技术规格
  • 输出功率：5kW
  • 输入电压：AC 380V，三相
  • 控制精度：±0.01°（角度控制）
  • 通信接口：EtherCAT，支持实时运动控制
  • 防护等级：IP65
  • 工作温度：0℃~40℃
• 功能特点
  • 采用矢量控制技术，电机运行效率提升至 95%，降低能耗
  • 具备过载保护、过压保护、短路保护等多重安全防护功能
  • 支持位置、速度、扭矩三种控制模式，适配不同机器人运动需求
• 应用场景：半导体晶圆自动化传送线、腔室内部零件搬运机器人、半导体设备的自动化维护系统，以及 3C 行业的精密装配机器人。