• 产品简介：适配 AMAT 多款刻蚀与沉积设备真空腔室的密封组件，包含主密封垫圈、辅助密封圈及安装配件，用于保障腔室门体与腔体的密封性能，防止真空泄漏，适配 200mm 与 300mm 晶圆设备的腔室门结构。
• 技术规格
  • 主密封圈材质：全氟醚橡胶（FFKM），硬度 75 Shore A
  • 辅助密封圈材质：氟橡胶（FKM）
  • 主密封圈尺寸：内径 280mm，外径 300mm，截面直径 5mm
  • 真空耐受度：10⁻¹⁰ Torr
  • 工作温度范围：-50℃~250℃
  • 适配螺栓：M10×30mm 不锈钢螺栓，扭矩要求 18N・m
• 功能特点
  • 主密封圈采用唇形密封结构，密封接触面积提升 40%，密封寿命达 3000 次开合
  • 密封圈表面涂覆抗粘涂层，防止工艺粉尘粘附导致密封失效
  • 套件包含密封圈安装定位槽，安装精度误差≤0.5mm
  • 具备温度补偿功能，在高低温环境下仍保持稳定密封性能
• 应用场景：半导体刻蚀设备、PECVD 沉积设备、离子注入机的真空腔室门体密封，以及需要频繁开关腔室的维护型工艺设备。