• 产品名称：涡轮分子泵电源控制器
• 产品简介：这款电源控制器是涡轮分子泵的配套控制装置，负责为涡轮分子泵提供稳定的电源，并对泵的运行状态进行实时监测与控制，保障涡轮分子泵高效、稳定地实现真空环境的建立。
• 技术规格
  • 输入电压：380VAC（三相），输出功率：0-5kW
  • 适配涡轮分子泵型号：AMAT 9090 系列，控制方式：变频控制
  • 转速控制范围：0-60000rpm，转速控制精度：±10rpm
  • 保护功能：过流、过压、过热、欠压保护
• 功能特点
  • 采用矢量控制技术，启动平稳，能耗低，效率高达 95%
  • 具备转速反馈与调节功能，可精确控制泵的转速
  • 实时显示泵的转速、电流、温度等运行参数
  • 支持故障自动诊断与报警，便于快速排查问题
• 应用场景：用于半导体制造设备、真空实验室设备中的涡轮分子泵控制，适配 AMAT 的各类真空工艺腔室，如刻蚀腔、沉积腔等。