• 产品名称：伺服电机
• 产品简介：这是一款高性能的伺服电机，由 AMAT 专为半导体设备的精密运动控制而设计，可实现精确的位置、速度和扭矩控制，满足半导体制造中对运动精度的严苛要求。
• 技术规格
  • 额定功率：1.5kW，额定转速：3000rpm，额定扭矩：4.77N・m
  • 编码器类型：绝对式编码器，分辨率：23 位
  • 防护等级：IP67，绝缘等级：F 级
  • 适配驱动器：AMAT 0010 系列伺服驱动器，冷却方式：自冷
• 功能特点
  • 动态响应快，定位精度达 ±0.001mm，满足高精度运动需求
  • 低噪音、低振动设计，运行平稳，减少对工艺的干扰
  • 具备过载保护、过热保护、编码器故障保护等功能
  • 支持多种控制模式，如位置控制、速度控制、扭矩控制
• 应用场景：主要用于半导体设备中的晶圆传输机械臂、腔室部件运动机构、光刻设备的工作台驱动等，适配 AMAT 的各类半导体制造设备。