• 产品名称：1/4 英寸真空阀门
• 产品简介：这是一款小口径真空阀门，由 AMAT 生产制造，用于半导体、真空镀膜等行业的真空管路系统中，实现管路的通断控制，保障真空系统的正常运行和工艺的顺利进行。
• 技术规格
  • 通径：1/4 英寸，材质：不锈钢 316L
  • 适用介质：各种工艺气体、真空，工作压力：1×10^-8 Torr 至 10bar
  • 密封材质：PTFE，驱动方式：手动 / 气动
  • 泄漏率：≤1×10^-10 mbar・L/s
• 功能特点
  • 结构紧凑，安装方便，适用于狭小空间的管路布置
  • 开关灵活，使用寿命长，可进行≥10000 次无故障开关操作
  • 密封性能优异，有效防止气体泄漏
  • 耐腐蚀性强，可适应各种腐蚀性工艺气体环境
• 应用场景：用于半导体设备的真空管路、气体输送管路，以及真空实验室的小型真空系统中，如样品传输管路、辅助气体管路的通断控制。