• 产品名称：真空计
• 产品简介：该真空计是 AMAT 推出的高精度真空测量仪器，采用先进的测量技术，可对真空系统内的压力进行实时、准确的测量，为真空工艺的控制和优化提供关键数据支持。
• 技术规格
  • 测量范围：1×10^-11 Torr 至 1atm，测量精度：±0.5% 满量程
  • 测量原理：热阴极电离真空计 + 皮拉尼真空计复合测量
  • 输出信号：4-20mA 模拟信号 + RS485 数字信号
  • 工作温度：0℃至 100℃，接口类型：CF16
• 功能特点
  • 复合测量原理，兼顾宽测量范围和高精度测量
  • 具备自动量程切换功能，无需人工干预
  • 内置数据存储功能，可存储≥1000 组测量数据
  • 支持远程校准与诊断，维护方便
• 应用场景：适用于半导体制造中的各类真空工艺设备，如 CVD、PVD、刻蚀等设备的真空腔室压力测量，也可用于科研实验室的真空系统压力监测。