• 产品名称：半导体设备数字信号控制板卡
• 产品简介：这是应用材料公司推出的一款高性能数字信号控制板卡，专为半导体制造设备的信号处理与控制设计，可实现多通道数字信号的采集、处理、传输与控制，是设备控制系统中的核心信号处理部件，保障设备各执行机构按指令精准动作。
• 技术规格
  • 数字信号输入通道：32 路，输入电压：24VDC，输入电流：8mA / 通道
  • 数字信号输出通道：16 路，输出类型：晶体管输出，输出电流：2A / 通道
  • 数据传输速率：100Mbps，处理器型号：32 位工业级单片机
  • 工作电压：220VAC，工作温度：0℃至 60℃，相对湿度：10% - 90%（非冷凝）
  • 尺寸：220mm×160mm×30mm，安装方式：导轨式安装
• 功能特点
  • 具备信号滤波功能，可有效滤除工业环境中的电磁干扰，信号采集精度达 ±0.02%
  • 支持多种通信协议，如 Modbus、Profinet，可与设备主控系统快速对接
  • 内置看门狗定时器，当程序运行异常时可自动复位，提高系统稳定性
  • 板载数据存储模块，可存储 1000 组以上的信号数据，支持数据追溯
  • 采用模块化设计，维修更换便捷，可快速替换故障模块
• 应用场景：主要应用于半导体晶圆制造的刻蚀、沉积、离子注入等设备，用于控制晶圆传输机械臂、工艺腔室阀门、加热装置等执行元件，同时采集各类传感器信号，适配 AMAT Centura、Endura 等系列机型。