• 产品名称：半导体设备冷却水管路接头组件
• 产品简介：该组件是半导体设备冷却系统的重要连接件，用于冷却水管路的连接与密封，保障冷却介质的顺畅流通，避免漏水，维持设备各部件的正常工作温度，防止因过热导致设备故障或工艺异常。
• 技术规格
  • 接头类型：卡套式接头，适配管径：1/2 英寸
  • 材质：不锈钢 316L，密封材质：乙烯 - 丙烯 - 二烯橡胶
  • 工作压力：0-20bar，工作温度：-20℃至 120℃
  • 适用介质：去离子水、乙二醇水溶液等冷却介质
  • 连接方式：螺纹连接，螺纹规格：G1/2
• 功能特点
  • 采用卡套式密封结构，密封性能可靠，安装后无需额外密封处理
  • 抗压能力强，可适应设备冷却系统的高压工况
  • 耐腐蚀性能优异，可长期在去离子水等腐蚀介质中使用
  • 拆装便捷，便于设备的维护与检修
  • 适配多种冷却管路，通用性强
• 应用场景：广泛应用于半导体光刻、刻蚀、沉积等设备的冷却系统，用于连接冷却水泵、冷却器、工艺腔室冷却管路等，适配 AMAT Centura、Endura 等系列半导体制造设备。