• 产品名称：晶圆传送机械臂末端执行器（End Effector）
• 产品简介：这是适配半导体设备晶圆传送系统的核心部件，专门用于精准抓取、传送 300mm 规格晶圆，是保障晶圆在不同工艺腔室间高效、安全转运的关键零件，可避免晶圆在传送过程中出现损伤或污染。
• 技术规格
  • 适配晶圆尺寸：300mm
  • 材质：铝合金（表面硬质阳极氧化）+ 防静电橡胶接触垫
  • 最大承载重量：1.5kg，重复定位精度：±0.02mm
  • 工作温度：-20℃至 120℃，适配机械臂型号：AMAT 0020 系列
  • 尺寸：150mm×120mm×20mm，重量：0.8kg
• 功能特点
  • 采用真空吸附 + 机械限位双重固定结构，确保晶圆传送过程中无偏移、无掉落
  • 表面经过防静电处理，防静电值达 10^6-10^9Ω，有效避免静电损伤晶圆
  • 配备晶圆存在传感器，实时反馈晶圆抓取状态，防止空抓或多抓
  • 耐化学腐蚀，可适应半导体制造中的各类工艺气体环境
• 应用场景：适配 AMAT Centura、Endura 等系列半导体设备，用于 300mm 晶圆在光刻、刻蚀、沉积等工艺环节的传送，广泛应用于逻辑芯片、存储芯片等半导体器件的制造流程中。