• 产品名称：射频功率分配器
• 产品简介：该分配器是半导体等离子体工艺设备的关键射频部件，用于将一路输入射频功率均匀分配至多路输出，为多个工艺腔室或同一腔室的多个电极提供稳定的射频能量，保障等离子体工艺的一致性。
• 技术规格
  • 输入功率：0-10kW，工作频率：13.56MHz
  • 输出路数：4 路，功率分配精度：±1%
  • 输入输出接口：N 型射频接头，驻波比：≤1.1
  • 工作温度：-20℃至 60℃，冷却方式：自然冷却
  • 尺寸：200mm×100mm×50mm，重量：3kg
• 功能特点
  • 采用微带线结构设计，功率分配均匀，插入损耗≤0.5dB
  • 内置射频隔离器，各路输出之间隔离度≥20dB，避免相互干扰
  • 外壳采用铝合金材质，具备良好的散热性能与屏蔽效果
  • 支持长期稳定运行，故障率低，维护成本低
• 应用场景：适配 AMAT 多腔室等离子体刻蚀、沉积设备，用于射频功率的分配，保障多个工艺腔室同时运行时的工艺参数一致，提高设备产能。