• 产品名称：气动阀组（Pneumatic Valve Manifold）
• 产品简介：这是应用材料半导体设备的核心气动控制部件，集成多路气动控制阀，用于集中管控工艺腔室、传送系统等单元的气动执行元件，通过统一的气压分配与开关控制，保障设备各气动部件动作精准同步，是设备气动系统稳定运行的关键组件。
• 技术规格
  • 阀门数量：8 路，阀体材质：不锈钢 316L，密封材质：全氟醚橡胶
  • 工作压力：0.4-0.8MPa，额定电压：24VDC，控制方式：电磁驱动
  • 接口规格：1/4 英寸卡套接头，响应时间：≤0.5s，泄漏率：≤1×10^-10 mbar・L/s
  • 工作温度：-10℃至 60℃，防护等级：IP65
• 功能特点
  • 集成化设计减少管路连接，降低泄漏风险，节省设备安装空间
  • 内置压力传感器，实时监测各路气压，异常时自动触发报警并切断气源
  • 支持与设备主控系统联锁控制，实现动作的精准时序控制
  • 阀体表面经钝化处理，耐腐蚀，适配半导体洁净生产环境
• 应用场景：适配 AMAT Centura、Endura 系列半导体设备，用于工艺腔室狭缝阀、机械臂驱动气缸、晶圆承载台升降机构等气动部件的控制，广泛应用于 300mm 晶圆的刻蚀、沉积等工艺环节。