• 产品名称：伺服电机控制器（Servo Motor Controller）
• 产品简介：这是 AMAT 设备专用的伺服电机控制装置，负责接收设备主控系统的指令，输出精准的驱动信号，实现伺服电机的位置、速度、扭矩的闭环控制，保障机械臂、晶圆承载台等运动机构的高精度运行。
• 技术规格
  • 适配电机类型：三相交流伺服电机，额定功率：3kW，控制精度：±0.001mm
  • 输入电压：三相 380VAC，输出电流：0-70A，通信接口：EtherCAT
  • 控制模式：位置 / 速度 / 扭矩三种模式可切换，响应时间：≤10μs
  • 冷却方式：水冷，工作温度：0℃至 45℃，防护等级：IP20
• 功能特点
  • 采用先进的矢量控制算法，电机运行平稳，无抖动，定位精准
  • 内置多重保护模块，具备过流、过压、欠压、过热、电机堵转等保护功能
  • 支持参数在线调整与存储，可适配不同负载特性的伺服电机
  • 与 AMAT 设备主控系统无缝对接，数据传输延迟低，控制同步性好
• 应用场景：用于 AMAT 半导体设备的晶圆传送机械臂、晶圆承载台驱动、腔室门开关机构等，适配光刻、刻蚀、沉积等高精度工艺设备，保障设备运动部件的稳定运行。