• 产品名称：静电卡盘（Electrostatic Chuck，ESC）
• 产品简介：该部件是半导体工艺腔室中用于固定晶圆的核心组件，通过静电吸附原理将晶圆牢牢固定在承载台上，同时具备温度控制功能，保障晶圆在刻蚀、沉积等工艺过程中保持稳定的位置与均匀的温度，是提升工艺均匀性的关键部件。
• 技术规格
  • 适配晶圆尺寸：200mm，材质：陶瓷基体 + 金属电极，绝缘电阻：≥10^12Ω
  • 静电吸附电压：0-3000VDC，吸附力：≥6N/cm²
  • 控温范围：室温至 500℃，控温精度：±0.3℃
  • 工作压力：0-10Torr，冷却方式：水冷，适配腔室：AMAT Centura 200mm 刻蚀腔室
• 功能特点
  • 静电吸附无机械接触，避免晶圆表面划伤，减少颗粒污染
  • 内置多区加热与温度传感器，实现晶圆表面温度的精准均匀控制
  • 陶瓷基体耐腐蚀，适配等离子体工艺环境，使用寿命长
  • 具备吸附力检测功能，实时反馈吸附状态，防止晶圆脱落
• 应用场景：适配 AMAT Centura 系列 200mm 刻蚀、CVD 设备，用于逻辑芯片、功率器件等半导体器件制造中晶圆的固定与控温，保障刻蚀图形精度与薄膜沉积均匀性。