• 产品名称：气体输送管道组件（Gas Delivery Tube Assembly）
• 产品简介：该组件是半导体设备气体输送系统的关键部件，用于将工艺气体从气体面板精准输送至工艺腔室的反应区域，采用高纯材质与特殊结构设计，保障气体输送过程中无泄漏、无杂质污染，是工艺气体稳定供应的重要保障。
• 技术规格
  • 材质：高纯不锈钢 316L（内壁电解抛光），管道内径：6mm，外径：10mm
  • 长度：1.5m，连接方式：VCR 密封接头，耐压等级：10MPa
  • 适配气体：硅烷、氨气、氟气等腐蚀性与惰性工艺气体
  • 工作温度：-20℃至 120℃，泄漏率：≤1×10^-10 mbar・L/s
• 功能特点
  • 内壁电解抛光处理，表面粗糙度 Ra≤0.05μm，减少气体吸附与杂质残留
  • VCR 密封接头设计，密封性能优异，可快速拆卸与安装，便于维护
  • 管道弯曲半径精准控制，减少气体流动阻力，保障气体流量稳定
  • 具备抗振性能，适应设备运行过程中的振动环境，避免接头松动
• 应用场景：广泛应用于 AMAT Centura、Endura 系列 CVD、刻蚀等半导体设备，用于工艺气体、载气的输送，适配 300mm 与 200mm 晶圆的各类薄膜沉积与刻蚀工艺。