• 产品名称：设备控制系统主板（Equipment Control System Mainboard）
• 产品简介：该主板是 AMAT 半导体设备的核心控制单元，集成 CPU、内存、通信接口等核心部件，负责设备各模块的指令分发、数据采集与处理，以及工艺参数的实时控制，是保障设备整体协调运行的 “大脑”。
• 技术规格
  • 处理器：工业级四核 CPU，主频：2.5GHz，内存：8GB DDR4
  • 存储：128GB 工业级 SSD，通信接口：Ethernet、RS485、PCIe
  • 输入输出通道：32 路数字输入、32 路数字输出、16 路模拟输入
  • 工作电压：24VDC，工作温度：0℃至 60℃，防护等级：IP40
• 功能特点
  • 采用工业级硬件，具备抗电磁干扰与宽温运行能力，适应半导体工厂复杂环境
  • 内置冗余设计，关键部件双重备份，避免单点故障导致设备停机
  • 支持实时操作系统，工艺参数控制周期≤1ms，保障控制精度
  • 具备数据存储与日志记录功能，可追溯工艺过程与设备运行状态
• 应用场景：适配 AMAT 7100 系列半导体设备，包括刻蚀机、沉积设备等，用于设备的整体控制与工艺管理，保障逻辑芯片、存储芯片等半导体器件制造过程的稳定与高效。