• 产品名称：真空压力传感器（Vacuum Pressure Transducer）
• 产品简介：该传感器是半导体真空工艺设备的核心检测部件，用于实时监测工艺腔室、真空管道等区域的真空压力，将压力信号转换为标准电信号反馈至设备主控系统，为真空度控制与工艺稳定性提供数据支撑。
• 技术规格
  • 测量范围：1×10^-9 Torr 至 1atm，测量精度：±0.1% 满量程
  • 输出信号：4-20mA 模拟信号，供电电压：24VDC
  • 材质：不锈钢 316L，接口：CF35 真空法兰，响应时间：≤0.1s
  • 工作温度：-30℃至 150℃，长期稳定性：≤0.2% 满量程 / 年
• 功能特点
  • 采用电容式测量原理，测量精度高，不受气体种类影响
  • 内置温度补偿模块，在宽温度范围内保持测量准确性
  • 具备过载保护功能，可承受 2 倍满量程压力，避免损坏
  • 支持在线校准，通过设备主控系统即可完成校准操作，无需拆卸
• 应用场景：用于 AMAT Endura、Centura 系列 PVD、CVD、刻蚀等真空工艺设备，适配腔室真空度监测、真空系统泄漏检测等场景，保障工艺过程中真空环境的稳定。