• 产品名称：质量流量控制器（Mass Flow Controller，MFC）
• 产品简介：该控制器是半导体工艺气体系统的核心流量控制部件，用于精准测量并控制工艺气体的流量，将气体流量稳定在设定值，保障半导体沉积、刻蚀等工艺的重复性与稳定性，避免因流量波动导致晶圆良率下降。
• 技术规格
  • 适配气体：氨气、硅烷、氧气等，测量范围：0-500sccm，精度：±1% 满量程
  • 工作压力：0.1-1MPa，响应时间：≤0.5s，输出信号：4-20mA
  • 供电电压：24VDC，控制方式：数字信号，接口类型：1/4 英寸卡套接头
  • 工作温度：0℃至 50℃，防护等级：IP65
• 功能特点
  • 采用热式质量流量测量原理，测量精准，不受气体温度、压力变化影响
  • 内置 PID 控制算法，流量控制稳定，无超调，适配快速工艺切换
  • 具备流量上限、下限报警功能，异常时及时切断气体供应
  • 与 AMAT 设备主控系统无缝对接，支持参数在线调整与数据上传
• 应用场景：广泛应用于 AMAT 各类半导体工艺设备，包括 CVD、PVD、刻蚀机等，用于控制反应气体、载气等的流量，适配 200mm 与 300mm 晶圆的制造工艺。