• 产品名称：气动执行器（Pneumatic Actuator）
• 产品简介：该执行器是 AMAT 设备气动系统的核心执行部件，通过气压驱动实现直线或旋转运动，用于控制腔室门、狭缝阀、气动夹爪等部件的动作，保障设备各气动部件动作精准、快速，是设备自动化运行的重要组成部分。
• 技术规格
  • 驱动方式：双作用气动，行程：50mm，最大推力：500N
  • 工作压力：0.4-0.8MPa，响应时间：≤0.3s，材质：铝合金 + 不锈钢
  • 安装方式：法兰安装，工作温度：-10℃至 60℃，防护等级：IP65
  • 适配部件：AMAT 腔室狭缝阀、气动夹爪
• 功能特点
  • 铝合金材质轻量化，运动惯性小，动作响应快，提升设备运行效率
  • 不锈钢活塞杆耐腐蚀，适配半导体洁净环境，使用寿命长
  • 内置磁性开关，可实时反馈执行器位置，与设备主控系统联锁
  • 密封性能优异，无漏气现象，保障气动系统压力稳定
• 应用场景：适配各类 AMAT 半导体设备的气动系统，用于控制工艺腔室门开关、狭缝阀启闭、晶圆传送夹爪动作等，保障设备自动化运行。